2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[7a-P04-5]
マグネトロンスパッタ法によるAl
x
In
1-x
Sb薄膜成長
〇有路 結斗
1
、矢口 裕之
1
、藤川 紗千恵
1
(1.埼玉大院理工)
キーワード：
InSb
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