講演情報
[7p-N104-2]時間分解走査型非線形誘電率顕微鏡が拓く半導体物性のナノスケール計測
〇山末 耕平1 (1.東北大通研)
キーワード：
走査型非線形誘電率顕微鏡、半導体、SNDM
走査型非線形誘電率顕微鏡（SNDM）は導電性探針下の局所的な静電容量変化を高感度で検出するプローブ顕微鏡である．近年，時間分解SNDMによる半導体物性のナノスケール評価に関する技術開発が進展しており，局所容量-電圧特性測定，半導体-絶縁膜界面の界面欠陥密度分布観察などが可能となっている．本講演では，時間分解SNDMに関する最新の進展を述べ，最近の顕微分光法への発展を目指す研究を紹介する．