[7p-N104-1~8] ナノスケール計測技術の最前線〜プローブ顕微鏡が拓く極微電子計測

16:35 〜 17:05

[7p-N104-8] 静電気力顕微鏡による電荷移動計測

〇松本 卓也¹ (1.阪大院理)

キーワード：

時間分解静電気力顕微鏡、Fowler-Nordheim 分光、電荷移動度

静電気力顕微鏡は、高抵抗試料や孤立電荷など、定常的な制御電流が必要な走査トンネル顕微鏡では測定不可能な絶縁体基板上の試料の表面電荷を測定することができる。本講演では、特に探針同期型時間分解静電気力顕微鏡、Fowler-Nordheim 分光法により、面内方向と垂直方向の電荷移動の観測例を中心に紹介する。