[7p-N202-1~14] 6.4 薄膜新材料

16:15 〜 16:30奨励賞エントリー

[7p-N202-11] レーザー誘起グラフェンと金属酸化物の複合による高感度・高信頼性なガスセンサの創製

〇桂 章皓¹、岡西 音哉¹、廣瀬 由紀子¹、三浦 悠真¹、朱 文亮¹、菅原 徹¹ (1.京工繊大)

キーワード：

レーザー誘起グラフェン、モリブデン酸化物、有機金属分解法

本研究では、金属酸化物の薄膜形成に利用される有機金属分解法を用いた新規戦略によって、α-MoO₃を柔軟なグラフェン構造と高い電気伝導性、大きな比表面積をもつレーザー誘起グラフェン上に成膜し、異種材料の優れた特性を融合することで、高感度・高信頼性なガスセンサを開発し、従来ガスセンサよりも約100分の1低い電気抵抗で高感度なガスセンサを実現した。