講演情報
[7p-N202-4]コンビナトリアルスパッタ法とNH3アニールを駆使したLa-Nb-N三元系窒化物のハイスループット探索
〇(M2)平出 悠士1、相馬 拓人1、組頭 広志2、吉松 公平1、大友 明1 (1.科学大物質理工、2.東北大多元研)
キーワード：
窒化物
本研究では、La-Nb-N三元系窒化物の新規相探索を目的に、コンビナトリアルスパッタ法とNH3アニールを組み合わせた手法で多結晶薄膜を作製した。XRD解析では、ペロブスカイト型LaWN3と推定される構造からの反射が観測され、新規La-Nb-N相の合成が示唆された。講演では光学・輸送特性や電子構造の評価についても報告する。