[7p-N302-1~19] 17.3 層状物質

15:15 〜 15:30

[7p-N302-8] Ge薄膜/Si基板上のh-BNナノシートのCVD成長

〇(M1)塚田 快¹、渡辺 健太郎^1,2 (1.信州大学、2.信州大学IFES)

キーワード：

六方晶窒化ホウ素、化学気相成長、SiGe