講演情報
[7p-N305-3]画素混載型CMOSにおいセンサに搭載する抵抗分圧画素の設計と作製
〇高橋 改1、上條 友暉1、木村 安行1、野田 佳子1、赤井 大輔1、飛沢 健1、權 益賢1、崔 容俊1、高橋 一浩1、澤田 和明1、野田 俊彦1 (1.豊橋技術科学大学)
キーワード：
においセンサ、CMOSセンサ、電子鼻
生体の嗅覚機能を模倣したにおいセンサの開発が進む中、我々は従来のCMOS電位検出型センサ画素と混載可能な抵抗検出画素の設計に取り組んだ。検出においては感応膜とNMOSFET間の抵抗分圧を利用しており、電荷転送でセンサゲインを高める手法を提案した。設計では32×32画素のアレイセンサに向けた抵抗検出画素の設計・共通配線回路を実現した。結果として、動作検証用画素を用いた提案手法の実証に成功した。