講演情報
[7p-N403-7]ミストCVD法によるδ-Ga2O3薄膜成長と熱的安定性
〇(M1)齋藤 蒼生1、島添 和樹2、西中 浩之1 (1.京工繊大、2.名工大)
キーワード：
酸化ガリウム、熱的安定性、ミストCVD
酸化ガリウム（Ga2O3）は5つの結晶多形を有し、それぞれの相で様々な応用が期待されている。その中でもビックスバイト構造を有するδ-Ga2O3は我々が同じ結晶構造を有するβ-Fe2O3をバッファ層として用いることで、YSZ基板上への単層エピタキシャル薄膜の成長に成功した。δ-Ga2O3の将来的なデバイス応用に向けては、熱的安定性の解明が不可欠である。本研究では、ミスト化学気相成長（CVD）を用いてβ-Fe2O3/YSZ(111)基板上に成長させたδ-Ga₂O₃薄膜の熱的安定性を評価した。