[7p-P01-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[7p-P01-10] 大気圧非平衡RFプラズマジェット処理がポリエーテルエーテルケトン表面に与える物理・化学的影響

〇竹中 弘祐¹、中本 壮太郎¹、島袋 将弥²、陣田 尭哉¹、小鑓 亮輔¹、重森 俊祥¹、上野 航季¹、都甲 将¹、内田 儀一郎³、川下 将一²、節原 裕一¹ (1.阪大接合研、2.科学大生材研、3.名城大理工)

キーワード：

大気圧非平衡プラズマジェット、PEEK