講演情報
[7p-P02-1]PECVD法による超はっ水性SiO:CH微粒子膜の光学的透明性
〇西尾 舞雪1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大工、2.表面・超原子研)
キーワード：
プラズマCVD、有機基含有シリカ、プラズマ重合
プラズマ重合により生成したSiO:CH微粒子を堆積させ，表面微細凹凸構造を有するSiO:CH微粒子膜を形成した．すべてのRF出力で微粒子が3D鎖状に結合して堆積し，超はっ水性の発現が見られた．また，RF出力が高くなるほど微粒子の粒径が小さくなり，反射率が高くなるとともに干渉によるスペクトル振動が明確になった．これは，微粒子の粒径が小さくなり，光学的に連続膜に近づいたためであると考えられる．