2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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一般セッション(ポスター講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.3 プラズマナノテクノロジー

[7p-P02-1~5]8.3 プラズマナノテクノロジー

2025年9月7日(日) 13:30 〜 15:30
P02 (体育館)
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[7p-P02-1]PECVD法による超はっ水性SiO:CH微粒子膜の光学的透明性

〇西尾 舞雪1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大工、2.表面・超原子研)
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[7p-P02-2]SiO:CH/Li薄膜における炭酸化防止のためのキャップ層の形成

渡辺 光輝1、〇安部 春菜1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大工、2.表面・超原子研)
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[7p-P02-3]高強度鋼におけるTiスパッタ膜の水素遮蔽効果

佐瀬 陽真1、〇島田 美宙1、井上 泰志1、小澤 俊平1、寺田 大将1 (1.千葉工大工)
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[7p-P02-4]Liイオン電池性能におけるSi粉体負極へのスパッタリング薄膜カバーの効果

〇寺田 圭吾1、上田 竜雄1、藤掛 大貴1、長谷川 祥之1、村瀬 瑠汰1、山崎 稜介1、坂口 浩貴1、内田 儀一郎1 (1.名城大理工)
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[7p-P02-5]3 元系 Si ナノワイヤー薄膜の特性と Li イオン電池負極への応用

〇山崎 稜介1、上田 竜雄1、寺田 圭吾1、長谷川 祥之1、藤掛 大貴1、村瀬 瑠汰1、坂口 浩貴1、内田 儀一郎1 (1.名城大理工)
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