講演情報
[7p-P07-7]MOD法により作製したBSCCO／半導体ヘテロ接合の局所電気特性評価
〇山田 靖幸1、延島 聖人1、伊倉 秀羽1、笠井 大夢1 (1.小山高専)
キーワード：
BSCCO、半導体、MOD法
光照射によりBSCCOのジョセフソンプラズマを励起することを目指し，BSCCO／半導体ヘテロ接合のMOD法による作製を行っている．多層構造作製時には熱処理による下層への影響を考慮したプロセス最適化が重要である．今回はマッピング装置未整備の中，手動電極配置による局所的ばらつき評価手法を検討した．