2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[7p-P08-5]
気相法による水素終端化Si(111)表面へのSAM作製
〇(M1)神尾 省吾
1
、宇都宮 徹
1
、一井 崇
1
(1.京大院工)
キーワード：
半導体、SAM、シリコン
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