講演情報
[7p-S202-4]強化学習を用いたデータ駆動型自動FZ結晶成長炉の開発と実証実験
〇柳沢 壮吾1、松本 遼平2、炭谷 翔悟2、稲垣 拓弥3、坂内 英典4、沓掛 健太朗1,5、宇治原 徹1,5、原田 俊太1,5 (1.名大院工、2.アナモルフォーシスネットワークス、3.三幸、4.物質・材料研究機構、5.名大未来研)
キーワード:
自動化、結晶成長、FZ法
近年、製造プロセスへのインフォマティクス応用が数多く検討されている。我々はこれまでに強化学習を用いたFZ結晶成長炉の自動操業手法を提案した。本研究では、この手法を用いた操業が可能な炉を新たに開発し、安定した自動操業を行えることを実証した。この結果は本研究で用いた手法が他の人の手で操業される製造プロセスなどにも応用できることを示唆している。