講演情報
[7p-S202-7]深層学習を活用した半導体加工形状の自動評価パイプライン
〇野島 聖耀1、岩満 一功1、赤瀬 善太郎1、菊池 昭彦2、冨谷 茂隆1 (1.奈良先端大、2.上智大)
キーワード：
深層学習、半導体、エッチング
半導体デバイスにおいて、微細構造の寸法や形状はデバイス特性に大きく影響を与えるため、電子顕微鏡による正確な計測が不可欠である。電子顕微鏡画像の手動評価は時間がかかるうえに、作業者によってバイアスが生じるため、深層学習を援用した自動評価が期待されている。本研究では、多様な画像に対応可能な自動評価パイプラインの構築を目指し、複数の構成を実装して画像解析のロバスト性を比較検討した。