講演情報
[7p-S202-8]三次元アトムプローブと透過電子顕微鏡法のバイモーダル相関顕微手法の開発
〇赤瀬 善太郎1、別所 泰成1、大竹 義人1、埋橋 淳2、岩満 一功1、中島 宏3、山﨑 順3、大久保 忠勝2、冨谷 茂隆1 (1.奈良先端大、2.物質・材料研究機構、3.大阪大学)
キーワード：
三次元アトムプローブ、透過電子顕微鏡法、非剛体レジストレーション
先端半導体デバイスの微細化により、微量不純物の三次元分布を高精度に把握する必要が高まっている。本研究では、3DAPとET(電子線トモグラフィ)を組み合わせた相関顕微鏡法を開発し、3DAPデータの構造歪をETデータを基準に非剛体レジストレーションで補正する手法を提案する。今回、同種原子の濃度差も反映できるよう、ガウスぼかしを用いた新たなモダリティ変換法を導入し、勾配相関値を約2倍に向上させた。