講演情報
[7p-S203-5]エレクトロスプレー堆積法で形成した単層カーボンナノチューブ薄膜の構造とガス応答の評価
〇(M1)口野 良1、西園 悠斗1、傅 馨怡2、市川 修平1、小島 一信1、小松 直樹2、田畑 博史1 (1.阪大院工、2.京大院人環)
キーワード：
カーボンナノチューブ、エレクトロスプレー堆積法、ガスセンサ
単層カーボンナノチューブ(SWNT)はガスセンサの材料として近年注目されている物質である。高性能なガスセンサの作製には希少なSWNTの分散液が必要となるため、使用効率の向上が課題となる。そこで、本研究ではエレクトロスプレー堆積法(ESD法)を用いてSWNT薄膜を形成した。形成に用いた分散液の消費量は少なく、膜のNH3ガスに対する応答量が従来よりも増加したことからESD法がガスセンサ用のSWNT膜を形成できる有効な方法であることが示された。