[8a-N105-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

10:00 〜 10:15

[8a-N105-5] 溶液法IGZO-TFTsのオゾン反応に対するアルカリ水酸化物の添加効果

〇笹島 宏青¹、森本 貴明¹、石井 啓介¹ (1.防衛大)

キーワード：

IGZO、溶液法、ガスセンサ

これまで溶液法IGZO-TFTのI_Dの減少を利用し、濃度1 ppmのオゾンを検出可能であること、その反応にはOH基が寄与することを報告した。さらなる高感度化にはアルカリ元素添加が効果的という他の知見から、本研究ではその両方を含むNaOH, KOHの添加を試みた。この材料は、反応活性の向上とともに、オゾン暴露で一旦減少したI_Dを回復させるため、従来不可欠であった加熱をせずともI_Dが自然回復するという新たな知見が得られた。