講演情報
[8a-N206-12]LER水晶振動子による原子間力顕微鏡の高速化の検討
〇(B)今北 海滉1、宮戸 祐治1、山田 啓文2 (1.龍谷大 先端理工、2.龍谷大 科技研センター)
キーワード：
原子間力顕微鏡、LER、高速
共振周波数が1 MHzのLER（Length Extension Resonator）水晶振動子を用いた高速AFMを構築した。非常に高いばね定数が欠点であるが、LERは高感度に自己検出可能なセンサで、プローブスキャン方式の装置を容易に実現できる利点がある。構築したAFMは、大気中で5 µm角の領域を10 sec/frameの速度で撮像できており、将来的には、雪氷結晶等の観察に応用する予定である。