[8a-N321-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

9:30 〜 9:45奨励賞エントリー

[8a-N321-1] DLC成膜用真空アーク蒸着装置における陰極点駆動と放電安定性

〇佐野 絃貴¹、佐野 春¹、渡辺 聖也¹、滝川 浩史¹、杉田 博昭²、服部 貴大²、儀間 弘樹² (1.豊橋技科大、2.オーエスジー（株）)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン、ta-C、陰極点駆動

ta-C膜は真空アーク蒸着法で成膜される。我々はコイル状陽極を備えたHR-FADの開発と改良を進めている。本装置の課題は放電不安定性で，特に陰極点の逸脱が問題である。過去，磁界印加による制御を行い，一定の効果を得られたが，さらなる安定化が求められた。今回，外周電磁石磁界を強めることで自己消弧回数が減少し，放電安定化に寄与した。理想陰極点駆動位置が内側に移動し，逸脱が抑制されたためと考えられる。