セッション詳細
[8a-N321-1~9]6.2 カーボン系薄膜
2025年9月8日(月) 9:30 〜 12:00
N321 (共通講義棟北)
青野 祐美(鹿児島大)、 金杉 和弥(電機大)
非晶質カーボン,B-C-N系薄膜,薄膜堆積,評価
[8a-N321-1]DLC成膜用真空アーク蒸着装置における陰極点駆動と放電安定性
〇佐野 絃貴1、佐野 春1、渡辺 聖也1、滝川 浩史1、杉田 博昭2、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー(株))
[8a-N321-2]高速フィルタードアーク蒸着装置における実用ワークテーブルでの水素フリーDLC成膜
〇佐野 春1、佐野 絃貴1、渡辺 聖也1、滝川 浩史1、杉田 博昭2、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー(株))
[8a-N321-4]蓄熱によるDLC膜表面層の増大
〇村岡 祐治1、榎本 奨2、岳 強3、横谷 尚睦1、岡﨑 宏之4 (1.岡山大基礎研、2.岡山大院環境生命自然科学、3.岡山大院自然科学、4.量研)
[8a-N321-5]Si およびN添加DLC薄膜の耐熱性および電気特性
〇竹村 凜太朗1、山崎 雄也1、伊東 翔太1、鈴木 裕史1、遠田 義晴1、小林 康之1、中澤 日出樹1 (1.弘前大院工)
[8a-N321-6]N-DLC電極の構造制御による電気化学応答と醸造製品の分類
〇(M1)萌出 大道1、赤坂 大樹2、青野 祐美3、針谷 達4、向山 義治1、平栗 健二1、大越 康晴1 (1.電機大、2.東京科学大、3.鹿児島大、4.岐阜大)
[8a-N321-9]マグネトロンスパッタ法による炭化ホウ素薄膜を用いた太陽電池の特性
〇秋元 壱畝利1、林 優佑1、伊東 翔太1、鈴木 裕史1、遠田 義晴1、小林 康之1、中澤 日出樹1 (1.弘前大院工)