講演情報
[8a-N321-3]GIPP-CVD法におけるDLC成膜領域に対する
ガス導入ノズル形状の影響
〇永井 健登1、針谷 達1、伊藤 暁彦1、裵 水旼1、上坂 裕之1 (1.岐阜大)
キーワード：
ダイヤモンドライクカーボン
DLCコーティングの応用拡大にともない、広い範囲に高速で成膜する手法が求められている。我々はDLC膜の高速成膜手法として、2480 nm/minで高速成膜が可能であるGas injected pulsed plasma CVD : GIPP法を開発してきた。しかし、微小円形ノズルを用いたGIPP法において高速成膜可能な範囲が直径10mmと狭い。本研究ではガスノズルの形状を変えた際のガスの拡散方向に対するDLC膜の成膜領域への影響を調べる。