講演情報
[8a-N402-12]高屈折率材料に対する誘導ラマン散乱顕微法における固体浸漬レンズを用いた空間分解能の向上
〇佐野 由季1、大宮 裕之2、高橋 孝2、小関 泰之1 (1.東大工、2.東京エレクトロン)
キーワード：
誘導ラマン散乱顕微法、シリコン、固浸レンズ
誘導ラマン散乱（SRS）顕微法は高速に分子振動や格子振動を可視化できる手法だが、代表的な半導体材料であるシリコンは強い光吸収のため計測が困難だった。著者らは光通信波長帯の光源を用いることで、シリコン内部のひずみを可視化するSRS顕微法を開発した。しかし、高屈折率材料であるシリコンでは、空気との屈折率差により分解能が低下する課題があった。そこで本研究では、固体浸漬レンズを導入し、高分解能化を実現した。