[8a-P02-1~16] 3.8 テラヘルツ全般

[8a-P02-10] テラヘルツ波による産業用シリコンウエハの評価法の検討

〇高橋 功将¹、梅津 枝里子¹、深澤 亮一¹ (1.(有) スペクトルデザイン)

キーワード：

テラヘルツ、シリコンウェハー