2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[8a-P02-10]
テラヘルツ波による産業用シリコンウエハの評価法の検討
〇高橋 功将
1
、梅津 枝里子
1
、深澤 亮一
1
(1.(有) スペクトルデザイン)
キーワード：
テラヘルツ、シリコンウェハー
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