[8a-P05-1~21] 6.4 薄膜新材料

[8a-P05-1] Ce_0.975Sr_0.025O_2-δエピタキシャル薄膜のトポケミカルフッ化反応

〇中野 歩花¹、萩原 美紅¹、組頭 広志²、上杉 文彦³、廣瀬 靖⁴、近松 彰¹ (1.お茶大理、2.東北大多元研、3.NIMS、4.都立大理)

キーワード：

薄膜、トポケミカル反応、ポリフッ化ビニリデン