2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[8a-P05-17](110)配向ScN薄膜の結晶性と電気特性の結晶方位依存性

〇大垣 武1、坂口 勲1、大橋 直樹1 (1.物材機構)

キーワード：

窒化スカンジウム、エピタキシャル成長、電気特性

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