2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[8a-P05-17]
(110)配向ScN薄膜の結晶性と電気特性の結晶方位依存性
〇大垣 武
1
、坂口 勲
1
、大橋 直樹
1
(1.物材機構)
キーワード：
窒化スカンジウム、エピタキシャル成長、電気特性
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