講演情報
[8a-P06-2]固体金ナノポアにおけるスルーホールビア抵抗のメンブレン膜厚依存性
〇小野澤 燿1、日色 由将1、伊澤 誠一郎1、真島 豊1 (1.科学大)
キーワード：
ナノポア、DNAシーケンサー、微細加工技術
我々のグループでは既存のロングリードDNAシーケンサーが持つ堅牢性等の課題を克服するため、ELGPによる固体金ナノポアを用いたDNAシーケンサーの開発を進めている。DNA 通過時の抵抗変化を感度良く測定するには、狭窄部ではないスルーホールビア部の抵抗を低減させる必要がある。本研究では、この抵抗低減を目的とし、メンブレン薄化を行ったため、スルーホールビア抵抗のメンブレン膜厚依存性について報告する。