講演情報
[8p-N204-1]広角プラズモニック回折によるSiイメージセンサの近赤外感度向上
〇(M2)岡崎 幸也1、寺西 信一2、小野 篤史1,2 (1.静大院工、2.静大電研)
キーワード：
プラズモニクス、イメージセンサ、近赤外
Time-of-Flight (ToF)やセキュリティ，医療検査などの応用分野において，Siイメージセンサの近赤外感度向上が求められる．我々は，準表面プラズモン共鳴による広範囲入射角における近赤外光の吸収効率向上を提案した．準共鳴下において，金属回折格子は入射光を高効率にSi層へ回折させる．回折光をSi層へ閉じ込めることにより，入射角度±15度以内において波長940 nmに対する吸収光率が40%以上まで向上した．