[8p-N301-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

17:00 〜 17:15

[8p-N301-14] サファイア基板上にCVD成長させた層状BN薄膜の陰極線蛍光評価

〇秩父 重英¹、粕谷 拓生¹、辻谷 陽仁¹、原 和彦²、嶋 紘平¹ (1.東北大多元研、2.静大電子研)

キーワード：

窒化物半導体、層状BN、カソードルミネッセンス

サファイア基板上に、分子に炭素を含まない原料（BCl₃とNH₃）を用いてCVD成長させた層状BN薄膜のカソードルミネッセンススペクトルを示し、間接遷移励起子や欠陥絡みの発光について同定する。