講演情報
[8p-N306-3]静電レンズ表面処理のためのコロイダルグラファイトの評価
〇(M1)横川 岳1、久保 美潤1、吉田 弘幸1,2 (1.千葉大院工、2.千葉大MCRC)
キーワード：
表面処理、コロイダルグラファイト、静電レンズ
現在開発中の準大気圧低エネルギー逆光電子分光(NAP-LEIPS)では，低真空で低速電子を扱うため，静電レンズ表面にコロイダルグラファイト(CG)を塗布し電極表面の仕事関数(WF)を均一する必要がある．本研究では， 紫外光電子分光法（UPS），低エネルギー電子透過法（LEET），ケルビンプローブによるCGのWFを評価する．３種のCGについて希釈濃度，アニールの有無，気体流入前後の変化に着目した．