[8p-N321-1~19] 6.2 カーボン系薄膜

13:30 〜 13:45奨励賞エントリー

[8p-N321-1] 13.56MHz誘導結合プラズマCVDによる超微粒ダイヤモンドの低温成長

〇安藤 瞭汰¹、長町 学¹、辰巳 夏生¹ (1.住友電工)

キーワード：

ダイヤモンド、超微粒ダイヤモンド、炭素

我々は、13.56MHz誘導結合プラズマによる超微粒ダイヤモンド合成が可能であることを見出した。今回、そのダイヤモンド膜を低温でかつガラス基板上への合成に成功したので、その詳細について報告する。