講演情報
[8p-N321-14]tert-butylphosphineを用いたn型ダイヤモンドの電子移動度評価
〇中川 大夢1、川瀬 凛久1、川島 宏幸1、森岡 直也1,4、加藤 宙光2、徳田 規夫3、山崎 聡3、小倉 政彦2、牧野 俊晴2、水落 憲和1,4 (1.京大化研、2.産総研、3.金沢大、4.京大CSRN)
キーワード：
n型ダイヤモンド、電子移動度、ホール効果
n型ダイヤモンドの高品質化は、高性能なダイヤモンド半導体デバイスの実現において重要である。n型ダイヤモンドはリンを添加して得られるが、リンの原料には安全性確保に大きなコストがかかるホスフィンが用いられていた。本研究では、安全性の高いターシャリーブチルホスフィンを用いてリン添加ダイヤモンドを合成し、ホスフィン使用時に匹敵する電子移動度が得られた。講演では、移動度のリン濃度依存性についても議論する。