[8p-N324-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

16:00 〜 16:15

[8p-N324-10] CuAl₂相をSDに含むプラスチック上のCu-MICダブルゲートpoly-Ge TFT

〇栗原 義人¹、五嶋 大喜¹、原 明人¹ (1.東北学院大院)

キーワード：

薄膜トランジスタ、多結晶ゲルマニウム、プラスチック基板