講演情報

[8p-N403-1][第58回講演奨励賞受賞記念講演] Ar-GCIBスパッタリングによるmPEG分子の損傷

〇水谷 優里1、藤井 麻樹子2、瀬木 利夫1、松尾 二郎1 (1.京大院工、2.横浜国大院環情)

キーワード:

二次イオン質量分析法、クラスターイオンビーム