講演情報
[8p-P01-22]半導体熱電特性の簡易的評価手法の検討
澤井 俊亮1、〇内海 淳志1、蘆田 湧一1、石川 一平1、清原 修二1 (1.舞鶴高専)
キーワード：
半導体、ホットプローブ法
半導体工学では，不純物半導体の種類としてp型とn型があることを学習する．しかしながら，実際のシリコン(Si)基板を見比べても，p型とn型の違いはわからない．本研究では大学や高専などの電気電子系の実験室であれば，どこにでもあるハンダごてとテスタを用いたホットプローブ法を用いて，Si基板のpn判定を試みた．また，この簡易的な測定方法を用いてSi基板の熱電特性(熱起電力)の評価を試みたので報告する．