講演情報
[8p-P02-3]周波数変調オープンループ電位顕微鏡による真空中での表面電位計測の精度評価
〇長谷川 滉侑1、山田 啓文2、宮戸 祐治1 (1.龍谷大先端理工、2.龍谷大科技研センター)
キーワード：
原子間力顕微鏡、オープンループ電位顕微鏡、真空
熱電材料の表面電位計測から、ナノ構造が熱電物性や局所温度分布に与える影響を正確に評価することを目指している。オープンループ電位顕微鏡(OL-EPM)は直流バイアスを加えることなく電位測定が可能であり、我々はOL-EPMを応用して真空中で材料の局所電位を測定する手法を開発中である。今回、FM方式のOL-EPMの測定精度はカンチレバーの振動振幅に依存し、振幅が小さくないと精度が高くないことがわかった。