講演情報

[8p-P02-4]ヘテロダイン振幅変調ケルビンプローブフォース顕微鏡による有機薄膜トランジスタの時間分解電位分布評価

〇日比 功太1、小林 圭1 (1.京大工)

キーワード:

原子間力顕微鏡(AFM)、ケルビンプローブフォース顕微鏡(KFM)、有機半導体

有機薄膜トランジスタ(OTFT)は柔軟性や製造の容易さからさまざまな分野への応用が期待されているが、界面の注入障壁やトラップにより性能が制限される。我々は、ポンプ・プローブ法を用いた時間分解KFM(PP-KFM)にヘテロダイン振幅変調方式(HAM)を組み合わせたPP-HAM-KFMを開発した。本手法により、OTFTの電位変化を10 µsの時間分解能で観測し、一部グレインでのキャリア蓄積を確認した。