2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[8p-P10-1]
管状炉を用いたミストCVD法によるZnO結晶成長の温度依存性
〇川端 浩揮
1
、廣田 怜良
1
、光野 徹也
1
(1.静岡大工)
キーワード：
ミストCVD
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