[8p-P10-1~49] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[8p-P10-2] ミスト CVD 法による ZnO 結晶成長における くえん酸の原料溶液への添加効果の検討

〇廣田 怜良¹、川端 浩揮¹、光野 徹也¹ (1.静岡大工)

キーワード：

ミストCVD