[8p-P10-1~49] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[8p-P10-27] ポストLiPF₆ミスト照射によるLi⁺イオン注入のアモルファスTiO_xネットワークへの影響

〇(M1)小林 史弥¹、山本 孔明⁵、何 海燕⁵、白井 肇^2,3、栗原 英紀⁴、曽根 宏隆⁴、佐藤 知正²、大野 俊典⁵ (1.神奈川大工、2.神奈川大工研、3.埼玉大理工、4.埼玉県産業技術総合センター、5.(株)天谷製作所)

キーワード：

ミストCVD、リチウムイオン電池