講演情報

[8p-P10-31]放射光X線トポグラフィによるOCCC法β-Ga₂O₃単結晶基板の観察

〇水野公貴¹、大西一生¹、姚永昭¹、富田健稔²、柿本浩一³、北原正典²、鎌田圭^2,3、赤岩和明⁴、吉川彰^2,3 (1.三重大、2.(株)C＆A、3.東北大金研、4.鳥取大)

β型酸化ガリウム、X線トポグラフィ