2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[8p-P10-35]
溶液法IGZO-TFTsのオゾン反応に対するNaイオン添加の効果
〇山子 莞斉
1
、笹島 宏青
1
、森本 貴明
1
、石井 啓介
1
(1.防衛大)
キーワード：
IGZO、ガスセンサ、溶液法
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