[8p-P10-1~49] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[8p-P10-46] n型α-Ga2O3におけるTi電極およびITO電極の特性比較

〇山口 勇豪¹、山田 琴乃¹、西尾 宗真¹、飯田 隆真¹、相川 慎也¹、尾沼 猛儀¹、本田 徹¹、山口 智広¹ (1.工学院大学)

キーワード：

Mist CVD法、酸化ガリウム、電極材料