[9a-N107-1~11] 6.4 薄膜新材料

9:15 〜 9:30

[9a-N107-2] 真空蒸着法により窒素雰囲気下で成膜したポーラスAl膜の評価

〇(M1)柴田 博紀¹、川村 みどり¹、木場 隆之¹ (1.北見工大)

キーワード：

ポーラス金属膜、薄膜