[9a-N201-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[9a-N201-4] 大気圧100 ºC以下における強誘電体薄膜の合成と評価

〇古賀 彩月¹、胡 雨弦¹、白石 貴久²、岡本 一輝¹、舟窪 浩¹ (1.科学大、2.熊本大学)

キーワード：

強誘電体、薄膜、低温溶液合成法

我々は粉末原料と強アルカリ溶液を出発原料とし、大気圧40℃でPbTiO₃(100)配向エピタキシャル膜の作製に成功した。本手法では従来の合成法と比較して、極めて簡便かつ常圧・低温での合成が可能である。一方、その成膜プロセスに関する知見は未解明である。本研究ではより詳細な成膜プロセスを調査し、低温成膜が可能な機構の検討を行ったので報告する。