[9a-N202-1~11] CS.5 3.10 フォトニック構造・現象、3.13 シリコンフォトニクス・光電融合集積・光制御のコードシェアセッション

11:30 〜 11:45

[9a-N202-10] 光-電-光変換素子への適用に向けたシリコンフォトニック結晶共振器型変調器

〇北 翔太^1,2、ブロカード アンソニー^1,2、荒畑 雅也^1,2、倉持 栄一^1,2、高 磊³、前神 有里子³、コン グアンウェイ³、山本 宗継³、山田 浩治³、新家 昭彦^1,2、角倉 久史^1,2、納富 雅也^1,2 (1.NTTナノフォトニクスセンタ、2.NTT物性研、3.産総研)

キーワード：

電気光学変調器、フォトニック結晶共振器、光-電-光変換素子

光インターコネクションの短距離化や、光信号・光演算処理への応用に向けては、電気光学変調器のさらなる省電力化と高性能化が求められている。本研究では、1 fFオーダーの容量を持ち、単一モード特性を有するフォトニック結晶（PhC）共振器変調器を、ファウンドリの製造制約を満たすように設計・試作し、64 Gbpsの変調動作を確認したので報告する。