講演情報
[9a-N221-9]溶液セルを用いないレーザー支援電気泳動堆積システムの開発とビーム走査機構の搭載
〇田村 優樹1、中澤 謙太1、岩田 太1,2 (1.静岡大工、2.静岡大電研)
キーワード：
レーザートラップ、電気泳動堆積法、マイクロ積層造形
我々は，レーザートラップと電気泳動堆積法を組み合わせたレーザー支援電気泳動堆積法を用いた微細立体造形法を開発している．対物レンズ側に導電性ガラスが含まれるユニットを取り付けることで溶液セルを使用しない手法を開発した．本発表では，ビームスポットの走査機構および金属コロイド溶液の注入・排出機構を対物レンズ側に搭載することで，基板側の制約をさらに低減させた立体造形システムを開発したので報告する．