[9a-N324-1~4] 8.3 プラズマナノテクノロジー

9:00 〜 9:15

[9a-N324-1] h-BN 成膜用アンモニアボラン含有 Ar プラズマの質量分析

〇北嶋 武¹、庄原 意晃¹、中野 俊樹¹ (1.防大電気)

キーワード：

プラズマ、2次元結晶、絶縁膜

2次元エレクトロニクスで重要なh-BNの成膜過程でBN源としてアンモニアボランのプラズマPVDの最適化が必要である。ガス圧力をパラメータとしてArプラズマを照射したアンモニアボラン粉末から生じる活性種を質量分析し、HとBNH5の強い密度相関を確認した。