講演情報
[9a-N403-11]ファセット電子源のクーロン効果シミュレーション
〇里見 昂哉1、早田 康成1 (1.筑波大学数理)
キーワード：
走査型電子顕微鏡
走査電子顕微鏡(SEM)の高性能化には大電流電子源が不可欠だが、クーロン効果による性能低下が課題である。本研究では、ファセット型電子源と高輝度が期待される球面電子源を対象に、クーロン効果の影響をシミュレーションで比較した。その結果、ファセット電子源の特性低下は、先端エッジからの局所的な大電流放出が引き起こすクーロン効果に起因することを発見した。これは電子源の最適な形状設計に一つの知見を与える。