講演情報
[9a-N403-5]SEM用全方位SE/BSE検出器の開発
〇柳原 悠人1、熊谷 和博2,3、姚 遠昭2、関口 隆史2 (1.光産業創成大学院大学、2.筑波大数理、3.産総研)
キーワード：
マイクロチャンネルプレート、走査電子顕微鏡、検出器
SEMでは、異なる位置にエネルギー感度特性の異なる検出器を配置し、二次電子及び反射電子を分離検出している。我々はハイパスフィルターを装着したMCPを正十二面体フレームに配置することで、全方位・全エネルギーの信号電子を検出可能なSEM用検出器の開発をしている。MCPに装着したハイパスフィルターと信号演算を組合せることによって、SE, BSEを選択的に抽出できる。さらに、試料台の工夫により、全方位に出射するSE/BSEの全てを捉える。